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在直流溅射中，在靶和待涂覆的基板之间施加几百伏的直流电压，因此它也被称为直流电压溅射。
靶形成负电极，基板形成带正电电极。通过使用（例如，作为稀有气体的原子碰撞电离氩气）形成在一个气体空间的等离子体（氩低压等离子体），带负电荷的电子和带正电荷气体离子诸如Ar的组件，或通过在基片的方向上施加的直流电压目标。它在目标上遇到永久的正离子流; 因此名称叫直流溅射，直流或直流溅射。在与目标颗粒撞击时，通过动量传递从目标喷射粒子，该动量传递在基板方向上远离目标移动并在那里作为薄层沉积（沉积）。
该方法的主要缺点是它只能用于导电靶材料。对于电绝缘材料，将通过目标和基板的新电荷载体的恒定供应来充电，因此补偿直流电压场并阻碍溅射过程，因为随后的离子将被电击穿。另外，可实现的溅射速率以及因此涂覆速率相对较低，因为在所使用的低压等离子体中仅形成少量溅射气体离子。
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相关阅读：在直流溅射中
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* 2001年，清华大学台湾研究所转入公共管理学院。
* 2002年，公共管理硕士（MPA）招生。
* 2003年~2006年，成立多个研究中心。
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相关阅读：清华大学公共管理学院
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曹盅 , 字囦明，号牧庵，鄞县人，南宋政治人物。
曹粹中次子。南宋绍兴四年（1134年）出生，少颖悟，十二岁能作举子业，二十岁以前已精通经史百家之言。乾道三年（1167），以父致仕恩补将仕郎、平阳主簿，四年任江陵县令，不久丁忧解职。淳熙九年循从政郎监行在赡军激赏酒库，淳熙十五年改宣教郎，知秀州嘉兴县，不久知福州长溪县，任内因鬻盐之法与辛弃疾不合。庆元初年通判楚州，六年，历授福建转运司主管文字。官至朝请大夫。好读书，聚书万卷，并亲自雠校。嘉泰二年九月初一日卒于官舍，得年六十八岁。
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