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更新于 2026-10-06

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三氟化氮(NF3)是卤化氮中最稳定的无机化合物,可在铜的催化下由氨气与氟气制成。 它可以用作氟化氢激光器的氧化剂,半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。曾被试做火箭燃料。 但由于三氟化氮属于温室气体,能加剧温室效应,因此有人认为应该限制这种化合物的使用。

三氟化氮在半导体及TFT-LCD制造的薄膜制程中扮演「清洁剂」的角色,不过这类清洁剂是气态,而非液态。

在半导体中,薄膜制程的主要设备是「化学气相沉积」(CVD)机台,会在晶圆片上长出薄膜。薄膜的成份有可能是矽、二氧化矽或其他金属材料,但这些材料不仅会附著在晶片上,也附著在反应室内的墙壁上,内墙上的二氧化矽累积至相当数量,就会在反应室内形成微尘粒子(Particle),影响晶圆片的良率。

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相关阅读:三氟化氮

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哈齐克·纳兹利(Muhammad Haziq bin Nadzli,1月6日)是一名马来西亚职业足球运动员,现效力于马来西亚足球超级联赛的柔佛DT足球俱乐部。同时也代表马来西亚国家足球队,司职门将。

* 马来西亚超级足球联赛冠军:2017年、2018年

* 东南亚足协U-16青年锦标赛冠军:2013年

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相关阅读:哈齐克·纳兹利

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泖港大桥位于上海市松江区泖港镇东侧,为叶新公路上跨大泖港的一座大跨径预应力斜拉桥。

泖港大桥桥长391.8米,跨径200米,桥宽12米,设双向两条机动车道,两座桥塔高52米(桥面以上高44米),由上海市基础工程公司负责建造,大桥于1978年4月开始施工建造,1982年6月建成通车,为上海第一座斜拉桥。2018年4月,新建泖港大桥新桥。新桥北半幅于2020年8月30日通车,而后老桥于2021年9月22日启动拆除工作,并于2021年1月拆除完成。南半幅暨全线于2021年6月25日通车。

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