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氧化硅抛光主要被应用于平坦化金属层间淀积的层间介质（ILD），其基本机理是Cook理论。磨料中的水和氧化硅发生表面水合作用，从而使氧化硅的硬度、机械强度等有效降低，在机械力的作用下将氧化硅去除。氧化硅的去除速率主要由Preston方程表达。
金属抛光与氧化硅抛光机理有一定的区别，采用氧化的方法使金属氧化物在机械研磨中被去除。
磨料是平坦化工艺中研磨材料和化学添加剂的混合物，研磨材料主要是石英，二氧化铝和氧化铈，其中的化学添加剂则要根据实际情况加以选择，这些化学添加剂和要被除去的材料进行反应，弱化其和硅分子联结，这样使得机械抛光更加容易。在应用中的通常有氧化物磨料、金属钨磨料、金属铜磨料以及一些特殊应用磨料。台湾主要的厂商有长兴科技公司。
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县道167号是朴子至麻鱼寮（实际终点为后潭）的道路，其东侧实际端点（终点）位于本地区主聚落的县道168号路口。由该道路（大方向）西行可前往鹿草乡、朴子市朴子市区，并止于县道157号、县道168号共线路口。
县道168号又称「嘉朴公路」，是东石至中庄的道路，经过本地区主聚落。由该道路西行可前往朴子市、东石乡，并止于东石市区；东行可前往水上乡的中庄，并止于县道165号转角路口。
乡道嘉39线是后潭至麻豆店的道路，其北侧端点（起点）位于本地区主聚落中央略偏西南的县道167号路口。
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